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时间:2025-12-01 00:24:24
金融界2025年8月6日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“接触孔的制造方法”的专利,公开号CN120432438A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明公开了一种接触孔的制造方法,包括:步骤一、进行刻蚀形成接触孔开口。步骤二、进行第一次钨沉积形成第一钨层,在部分接触孔开口的顶部具有缩颈形貌并形成钨未完全填充的缝隙。步骤三、进行第一次CMP到底层结构的顶部表面之下的第一目标位置,第一次CMP后,缩颈形貌被去除以及缝隙完全打开。步骤四、进行第二次钨沉积形成第二钨层,第二钨层将缝隙完全填充并延伸到缝隙外的表面上。步骤五、进行第二次CMP到第二目标位置,第二目标位置等于或低于第一目标位置,第二次CMP后,缝隙外的第二钨层都被去除,缝隙被第二钨层完全填充。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2081次,专利信息2359条,此外企业还拥有行政许可344个。
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