凯发一触即发(中国区)官方网站
咨询热线

0763-93379309

诚信为本:市场永远在变,诚信永远不变。

联系我们

0763-93379309

地址: 广东省清远市广清纺织园普洛斯清远时尚科技创新61号威尼斯人大厦2号
手机:13671949431
电话:0763-93379309
传真:+86-0763-65729891
邮箱:99518284@qq.com

查看更多

解决方案>>当前位置: 首页 > 解决方案

上海华力申请接触孔制造方法专利消除钨缝隙打开的缺陷

时间:2025-12-01 00:24:24

  金融界2025年8月6日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“接触孔的制造方法”的专利,公开号CN120432438A,申请日期为2025年04月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种接触孔的制造方法,包括:步骤一、进行刻蚀形成接触孔开口。步骤二、进行第一次钨沉积形成第一钨层,在部分接触孔开口的顶部具有缩颈形貌并形成钨未完全填充的缝隙。步骤三、进行第一次CMP到底层结构的顶部表面之下的第一目标位置,第一次CMP后,缩颈形貌被去除以及缝隙完全打开。步骤四、进行第二次钨沉积形成第二钨层,第二钨层将缝隙完全填充并延伸到缝隙外的表面上。步骤五、进行第二次CMP到第二目标位置,第二目标位置等于或低于第一目标位置,第二次CMP后,缝隙外的第二钨层都被去除,缝隙被第二钨层完全填充。

  天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2081次,专利信息2359条,此外企业还拥有行政许可344个。

  特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

  上海女富婆邀18位同学聚会,龙虾鲍鱼一顿点,买单时却出意外,18人同学一起将富婆告上法院,法院判了!

  被扫地出门的贵公子,线+女人别乱穿!拒绝花衣服,搭配有质感,才能显贵提气质

  澎湃OS 3第三批推送:小米14、REDMI K70系列全覆盖,你收到了吗

  华为Nova15系列:2.5D直屏+非全系金属中框,12 月不上线英寸副屏,行业首台阔折叠屏

jQuery(document).ready(function($) { $(".fyRight img").lazyload({ threshold: 20, placeholder: "/template/pc/skin/img/blank.gif", effect: showeffect }) }); 
网站首页 关于我们 产品展示 凯发一触即发(中国区) 解决方案 新闻资讯 成功案例 技术支持 客户留言
地址: 广东省清远市广清纺织园普洛斯清远时尚科技创新61号威尼斯人大厦2号    电话:0763-93379309    传真:+86-0763-65729891
版权所有:Copyright © 2024-2026  凯发一触即发(中国区)有限公司 版权所有 非商用版本    ICP备案编号:粤ICP备41706753